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液晶パネルの長期展望と課題
−製品動向と生産技術−

液晶パネルの長期展望と課題 −製品動向と生産技術− 表紙
 


 2003年1月20日発行

 編集:SEMI PCS-Forum=FPD
     Phase IV ロードマップ委員会
 監修:北原洋明

 体裁:B5変型判 118ページ
 価格:9,240円(税込)
  ISBN:4-901790-25-0

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『液晶パネルの市場・技術などのこれまでの動向、
課題と今後の方向についてまとめたレポート』

 大型液晶パネルを前提として、そのパネルを効率良く生産していくために構築され てきた液晶生産ラインの動向と、そこで使われる大型ガラス基板の変遷を述べ、今後 も続くであろう大型ガラス基板とその生産技術の動向について解説する。  前半は「戦略編」で液晶パネルの市場動向・技術動向およびガラス基板の大型化動 向について大極的な立場で、これまでの動向と今後の方向についてまとめた。後半は 「実務編」で、個々の生産設備における基板大型化の課題と今後の方向について述べ た。
 なお、本レポートはSEMIジャパン主催のPCS(Production Cost Saving)Forum-FPD PhaseWロードマップ委員会がまとめた報告書を解説したものである。


===== 目 次 =====

<戦略編>

はじめに(戦略編の冒頭にあたって)

第1章 成長する液晶市場
  1.1 大型液晶パネルの市場
  1.2 ノートPC市場
  1.3 モニタ市場
  1.4 TV市場

第2章 大型液晶パネルの技術
  2.1 ディスプレイに要求される特性
  2.2 大型液晶パネルのトレンド
  2.3 広視野角技術・高速応答技術
  2.4 モジュール小型軽量化技術
  2.5 TV向け技術

第3章 ガラス基板サイズの大型化
  3.1 TFT液晶ラインの世代とマザー・ガラス・サイズ
  3.2 マザー・ガラス・サイズ拡大のスピード
  3.3 次世代のマザー・ガラス・サイズ
  3.4 ガラス板厚および公差
  3.5 ガラス・ハンドリング領域
  3.6 ガラス利用効率
  3.7 マザー・ガラス上の面取り配置とマザー・ガラスの縦横比
  3.8 ガラス・サイズの標準化について
  3.9 ガラス基板サイズ拡大の限界

第4章 今後の市場動向
  4.1 マーケットの拡大
  4.2 液晶パネルの生産台数予測
  4.3 パネル・コストの低減
  4.4 装置市場の規模
  4.5 クリスタル・サイクル
  4.6 環境に対する配慮

第5章 新たなコンセプトを考える時期!
  −戦略編のまとめに代えて−


<実務編>

はじめに(実務編の冒頭にあたって)

第6章 液晶パネルの基礎
  6.1 液晶パネルの構造
  6.2 TFTの構造と動作
  6.3 液晶パネルの動作
  6.4 製造プロセス

第7章 超大型ガラス基板の生産技術
  7.1 アモルファスSi技術
  7.2 低抵抗配線技術
  7.3 低温多結晶Si技術
  7.4 有機EL対応技術
  7.5 パーティクル低減

第8章 超大型ガラス基板対応の生産設備
  8.1 アレイ製造装置全般
  8.2 洗浄装置
  8.3 真空技術を使った装置
  8.4 スパッタリング装置、スパッタリング・ターゲット
  8.5 CVD装置
  8.6 LTPS用CVD装置
  8.7 フォトリソ工程
  8.8 レジスト・コーティング装置
  8.9 現像装置
  8.10 ベーク装置
  8.11 露光装置
  8.12 LTPS用露光装置
  8.13 ウエット・エッチング装置
  8.14 ドライ・エッチング装置
  8.15 レジストはく離装置
  8.16 LTPS用イオン注入装置
  8.17 LTPS用レーザ・アニール装置
  8.18 検査装置
  8.19 ガラス基板搬送
  8.20 工場の自動化、レイアウト

第9章 パネル・コストへの反映
  9.1 パネルのコスト構造
  9.2 装置の生産性
  9.3 ラインの投資生産性
  9.4 基板大型化の効果

第10章 大きいことは良いことか?
  −戦略編・実務編のまとめに代えて−

謝辞

参考文献
  戦略編
  実務編

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