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2017年12月27日

キヤノン、i線・KrF露光装置2機種用の200mmウェーハ対応オプションを発売

 キヤノンは2017年12月11日、IoT・車載向け半導体デバイスの量産において定評のあるi線半導体露光装置「FPA-5550iZ2」(2016年12月発売)とKrF半導体露光装置「FPA-6300ES6a」(2012年4月発売)に対応する“200mmウェーハ対応オプション(200mmオプション)”を発売した。
 両製品は、生産性や重ね合わせ精度で定評のある300mmウェーハ対応装置。“200mmオプション”を搭載することで、200mmウェーハで、「FPA-5550iZ2」は毎時230枚、「FPA-6300ES6a」は毎時255枚の露光処理が可能となる。同等クラスの露光装置として業界最高水準の生産性を実現し、CoO低減のニーズに応える。

URL=http://global.canon/ja/news/2017/20171211.html







 

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