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2017年12月27日

東京エレクトロン、第6世代基板対応LCD製造ドライエッチング装置を発表

 東京エレクトロンは2017年12月27日、第6世代(1500×1850mm)ガラス基板対応ドライエッチング装置の新製品として、高精細プロセス向けプラズマモード「PICP」チャンバを最大5基搭載可能なマルチチャンバシステムを採用した「Betelex 1800 PICP」の受注を開始したことを発表した。
 Betelex 1800 PICPは従来機種では最大3基であったプロセスチャンバを最大5基まで搭載可能とすることで生産性の大幅な向上を可能としている。また、より少ない装置台数で生産量を確保できるため、設置面積の最適化、装置に付帯するお客さまの設備費用の抑制を実現する。なお、同装置はすでに一部顧客に導入され、高い評価を得ている。

URL=http://www.tel.co.jp/news/2017/1207_001.htm







 

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