.

半導体・FPD業界の出版社 デジタル家電 通信・ネットワーク 移動体通信/携帯電話 次世代FPD 投資/工場計画 アプリケーション FPD新製品 半導体新製品 製造装置・材料 FPD動向 半導体動向

2017年10月17日

日立ハイテク、高分解能CD-SEMの累計出荷台数が5000台を突破

 日立ハイテクノロジーズは2017年10月17日、同社が製造・販売する高分解能FEB(Field Emission Beam)測長装置(CD-SEM)の累積出荷台数が、5000台を突破したことを発表した。日立ハイテクのCD-SEMは、1984年の発売以降、高画質像や高い計測性能が評価され、世界市場で80%以上のシェア(80.6%、Gartner社データをベース)というトップシェアを維持している。
 CD-SEMは、ウェーハに形成された微細な回路パターンの線幅や穴径などの寸法を高精度に測定する装置であり、主にプロセス管理や生産性向上を目的に使用される。日立ハイテクは、SEMの開発で培ってきた電子線技術を応用してCD-SEMを製品化し、1984年に初号機「S-6000」シリーズを発売して以降、技術革新と性能向上を進めてきた。
 最新機種「CG6300」では、数nmまで微細化した先端デバイスパターンに対応できる測長再現性能と、最新工場における年間1000万枚のウェーハ量産に耐えうる処理能力を実現し、加えて、長期安定稼働の達成や装置間差の低減などにより、半導体デバイスの生産現場におけるCost of Ownershipの低減に貢献している。

URL=http://www.hitachi-hightech.com/jp/about/news/2017/nr20171017.html







 

EDリサーチ
お問い合わせ・ご質問は webmaster@edresearch.co.jp
(c) 2001 ED RESEARCH Co., Ltd. All rights reserved.

デジタル家電 通信・ネットワーク 移動体通信/携帯電話 次世代FPD 投資/工場計画 アプリケーション FPD新製品 半導体新製品 製造装置・材料 FPD動向 半導体動向