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2017年8月23日

KLA-Tencor、レティクルブランクス検査装置を発表

 米KLA-Tencor社は2017年8月15日、レティクル・ブランクス検査装置「FlashScan」の新製品を発表した。新製品では、ArFやKrFのDUVやEUVリソグラフィで使用されるレティクルので検査を行う。欠陥の検査、欠陥の収集、タイプの分析などを行う。ウェーハ検査に使用しているレーザによる欠陥収集システムをレティクル検査に応用することで、FlashScanの感度、検査速度の向上を実現している。3チャンネルのコレクタを持ち、ピンホール、レジスト残渣、パーティクルなど様々な欠陥の検出が可能となっている。

URL=http://ir.kla-tencor.com/releasedetail.cfm?ReleaseID=1037395







 

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