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2017年7月14日

JSR、EUVレジスト開発企業に出資

  JSRは2017年7月12日、米Inpria社に出資したことを発表した。今回の出資は、InpriaがEUVレジストの商業化への取り組みを目的に募集をかけたSeries B Funding(総額2350万米ドル)に参加する形になる。Inpria社は、設立以来、非化学増幅型金属含有EUVレジストの開発に取り組んでいる。現在、主に取り組んでいるSn酸化物を主成分とするレジストは、学会などにおいてEUV露光系で世界最高性能の限界解像度を達成し、有機レジストに比べドライエッチング耐性が高いなど多数の優れた性能を有すると発表されている。
 今回の出資を通じてJSRとInpriaは、多様な面で協力し、EUVレジストの実用化に向けた取り組みを加速していく。

URL=http://www.jsr.co.jp/news/0000742.shtml









 

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