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2017年7月11日

SCREEN、統合プラットフォームを採用した高精度・高生産性検査装置を発表

  SCREENは2017年7月10日、デバイスの製造工程におけるさまざまなパターン検査に対応するウエハー外観検査装置「ZI-3500」、ウェーハ表面に形成された超薄膜を高精度に測定する膜厚測定装置の上位機種「RE-3500」、そして光干渉式による非接触・非破壊での膜厚測定を特長とした「VM-3500」の3機種を開発、同日発売した。
 今回発売するパターン付きウェーハ外観検査装置「ZI-3500」は、300mmまでのウェーハに対応するほか、独自開発の1.0μm高解像度レンズを新たに採用し、より高精度な検査を可能にした。また、従来比1.5倍となるハイスループットも実現している。
 エリプソ式膜厚測定装置「RE-3500」は、マイクロスポット光学系の採用により、最小40μm角の微細なエリアを高精度に測定できるだけでなく、従来比2倍の高速測定が可能。
 光干渉式膜厚測定装置「VM-3500」は、光干渉波形からスピーディーに多種多様な膜種の膜厚を測定でき、量産ラインの膜厚管理に最適です。いずれの機種も、従来モデルの優れた機能を継承しながら高精度と高生産性を実現した、コストパフォーマンスに優れた装置となっている。
 そして、これら3機種は統合プラットフォームを採用。コンパクトな筐体でありながら100mmから300mmまでのウエハーサイズに対応し、FOUP、SMIF、オープンカセットなど多様な搬送機構の搭載が可能としている。さらに、パーツの共通化による安定供給と短納期を実現する。

URL=http://www.screen.co.jp/spe/information/SPE170710-2.html


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