.

半導体・FPD業界の出版社 デジタル家電 通信・ネットワーク 移動体通信/携帯電話 次世代FPD 投資/工場計画 アプリケーション FPD新製品 半導体新製品 製造装置・材料 FPD動向 半導体動向

2017年7月11日

SCREEN、フットプリント半減、生産性1.5倍のウエット洗浄装置を開発

 SCREENセミコンダクターソリューションズは2017年7月10日、従来モデルに比べて設置面積を半減させ、生産性を1.5倍まで高めたウエット洗浄装置「CW-2000」を開発したことを発表、販売を開始した。
 同装置は200mmウェーハ対応の新型バッチ式洗浄装置。同装置は、従来は半導体工場内のサブエリアに設置されていた薬液キャビネットや冷却ユニットなどの付帯設備を、本体内部にビルトインしたオール・イン・ワンコンセプトを採用することで、従来モデル比半減という省スペースを実現している。また、搬送機構の刷新によりウェーハ洗浄が可能となっている。さらに、目的や用途に合わせて処理槽数を選択できるため、フレキシブルで拡張性に優れ、研究開発から量産に至るまでのさまざまなニーズに対応できる装置となっている。

URL=http://www.screen.co.jp/spe/information/SPE170710-1.html


Screen1






 

EDリサーチ
お問い合わせ・ご質問は webmaster@edresearch.co.jp
(c) 2001 ED RESEARCH Co., Ltd. All rights reserved.

デジタル家電 通信・ネットワーク 移動体通信/携帯電話 次世代FPD 投資/工場計画 アプリケーション FPD新製品 半導体新製品 製造装置・材料 FPD動向 半導体動向