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2017年5月31日

EEJA、低温化が可能な新ダイレクトパターニングめっき技術を開発

 田中貴金属グループのめっき事業を展開する日本エレクトロプレイティング・エンジニヤースは2017年5月31日、独自に開発した表面処理薬液(感光性プライマー、コロイドキャタリスト)を用いて、新たなダイレクトパターニングめっき技術を開発したことを発表した。同技術では、真空環境とフォトレジストが不要で、100℃以下の低温のプロセスで低抵抗な微細配線を、多種多様な素材に対して直接形成することが可能となる。
 今回発表した技術は、PETフィルムやガラスなどの様々な基板の上に、「感光性プライマー」を塗布・露光し、基板をAuナノ粒子触媒を含む「コロイドキャタリスト」溶液に浸漬した後、任意の金属種の無電解めっき液に浸漬させることにより、線幅5μmという微細かつ様々な金属種の電子回路パターンを形成する、めっき技術。同技術は既存の金属インクを用いた配線形成プロセスと比較して、より低温のプロセスで低抵抗な配線を形成することが可能となっている。また、感光性プライマーへのAuナノ粒子触媒の自動吸着という画期的な方法により、フォトレジストを使わずに直接配線を形成することができる。加えて、真空設備を必要としないめっき法で配線を形成するため、大型バッチ処理への展開も容易となり、高性能な金属配線を様々な基材の上で形成し、量産する事を可能にする。

URL=http://www.eeja.com/










 

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