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2017年4月10日

レーザーテック、新型マスクブランクス欠陥検査装置を発表

 レーザーテックは2017年4月3日、設計ルール10nm〜7nm世代の最先端半導体用マスクブランクス欠陥検査装置で高感度・高スループット化に対応したMAGICSシリーズM8650/M8651(M8650/51)」を製品化したことを発表した。  同社では2014年4月に販売開始しているM8350/51に対し、さらなるスループットの向上と高い感度を実現したM8650/51を開発した。M8650/51はMAGICSシリーズの基幹技術を用い、355nmレーザー光源を採用。M8350/51と比較して、ビーム本数を倍増、検査時間を1/2とした。さらに高密度スキャンを用いることで、M8350/51同等の検査時間で1.5倍の高感度を実現した。また、本装置はM8350/51からフィールドアップグレードが可能となっている。すでに多くの引き合いを得ており、複数台の受注が決定している。
 新装置はマスクブランクス検査の業界標準機となっているMAGICSの基幹技術であるコンフォーカル光学系を採用した63本のマルチビームスキャン方式をベースに、微小欠陥に特化した欠陥検出回路を搭載している。また、サブストレートだけでなく、最先端半導体用マスクブランクス各層における欠陥検出感度を飛躍的に向上させ、より高品質なブランクスの選別を可能にしている。
  M8651は、ライン & スペースのモニターパターン検査に対応した製品で、マスクショップでの各種プロセス管理に有効な装置となっている。 カセットは、ブランクスメーカー向け多段カセットから、マスクショップ向けRSP、MRP、およびEUVL向けDual podまで対応が可能となっている。、

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