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2017年3月9日

日立ハイテクノロジーズ、新型高速レビューSEMの販売開始

 日立ハイテクノロジーズは2017年3月8日、高速レビューSEM(走査型電子顕微鏡)「CR6300」を発売した。半導体製造過程にて生じた欠陥の発見・分類を行うレビューSEMの新製品である同製品は、ステージの制御方式を改良した新XYステージの採用とステージ移動と連動した電子線ビーム制御システムを開発し、単位時間当たりの欠陥撮像能力を従来比3倍の高速化を図った。複数の検出器を持つ新設計のカラムを搭載することで、豊富な情報量を生かした高感度な欠陥レビューを可能とした。
 また6種のSEM画像を撮像できる新しい電子光学系を開発したことに加え、試料から発生する二次電子(SE)、後方散乱電子(BSE)を発生角度別・エネルギー別に選択する検出技術を採用することで、高いアスペクト比の深い溝や穴から発生する信号電子の捕捉率を高め、底部のパターン形状の視認性を向上させた。
 さらに、欠陥レビュー機能に加え、露光装置やエッチング装置などのプロセス装置の制御パラメータの最適化を目的として、設計図と実際の加工パターンの変形量を算出する形状評価機能を新たに搭載したことにより、露光やエッチングなど各プロセスにて最適設定を行うために活用できるデータの提供が可能となる。この撮像した欠陥画像とパターン設計データの比較により、プロセスの最適化や歩留改善の指標を提供する機能を新たに搭載している。
 加えて、各プロセス装置の安定稼働監視に重要な「パターンなしウェーハのレビュー機能」に関しても照明のレーザ光の強度を従来比3倍に高め暗視野光学顕微鏡での欠陥の捕捉率を高めた。さらに従来のEDXのX線検出器の高感度化を図り、従来よりも短時間で欠陥の分析を可能とするだけでなく、冷却方式を変更することでメンテナンス負荷の低減を図っている。

URL=http://www.hitachi-hightech.com/jp/about/news/2017/nr20170308.html


HItachi  






 

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