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2017年3月2日

JSRとimec、EUVフォトレジスト製造ラインを完成

 JSRとベルギーの研究機関であるimecは2017年3月2日、2015年末にベルギーに設立した合弁会社 「EUV Resist Manufacturing & Qualification Center N.V. (EUV RMQC) 」 のEUVフォトレジスト製造設備が完成したことを発表した。新施設はクリーンルーム環境下で、4台の量産タンクが設置されており、訓練されたスタッフにより運営される。今後、JSRとimec両社の強みを活かして、最先端デバイスを製造する半導体産業に対して EUV リソグラフィ材料技術を提供していく。

URL=http://www.jsr.co.jp/news/0000719.shtml


JSRimec






 

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