.

半導体・FPD業界の出版社 デジタル家電 通信・ネットワーク 移動体通信/携帯電話 次世代FPD 投資/工場計画 アプリケーション FPD新製品 半導体新製品 製造装置・材料 FPD動向 半導体動向

2017年2月10日

Entegris、新ガス精製システムプラットフォームを発表

 米Entegris社は2017年2月7日、半導体、LEDアプリケーション向けに新しい先進的なガス精製システムプラットフォームとしてGateKeeperガス精製システム(GPS)シリーズを発表した。GPSシリーズは、新たな精製メディアの採用によって幅広い流量で最高水準のガス精製を実現し、さらに設置面積も小さくなっている。Entegrisは現在、韓国に製造施設を拡充し、北米、アジアの両地域でゲートキーパーGPSの製造を行っている。
 最先端のテクノロジーノードの半導体プロセスやLED製造においては、プロセスガスから製品不良の原因となりうる汚染物質を除去する優れた清浄レベルの実現が強く求められている。ゲートキーパーGPSシリーズは、ガス流体からさまざまな汚染物質をpptレベルまで取り除き、さらに幅広い流量への対応が可能で、クリーンドライエア(CDA)、N2、H2、H2 (EUV分野)、Ar、NH3などを精製する。また、半導体、LEDメーカーはサブファブの床面積を極力節減する、小さなシステムを求めている。設置面積の縮小により、ユーザは貴重なサブファブの床面積をその他の装置に割くことができ、その他のシステムと組み合わせて清浄レベルを引き上げることもできる。  Entegrisは現在、北米、アジアで製造している。

URL=http://investor.entegris.com/releasedetail.cfm?ReleaseID=1010675









 

EDリサーチ
お問い合わせ・ご質問は webmaster@edresearch.co.jp
(c) 2001 ED RESEARCH Co., Ltd. All rights reserved.

デジタル家電 通信・ネットワーク 移動体通信/携帯電話 次世代FPD 投資/工場計画 アプリケーション FPD新製品 半導体新製品 製造装置・材料 FPD動向 半導体動向