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2017年1月26日

三菱マテリアル、世界最大級の柱状晶シリコンの製造技術を確立

三菱マテリアルは2017年1月25日、連結子会社である三菱マテリアル電子化成と共同で、長年培ってきた精密鋳造に対する高度な知見を活かし、高純度化と内部応力の低減によって実用性が格段に向上した、角型の一辺が1200mmを超える世界最大級の柱状晶シリコンの製造技術を確立したことを発表した。
 柱状晶シリコンは、一方向に結晶を成長させて凝固させた「柱状」の結晶構造を持つ多結晶シリコン。シリコンは材質が脆性なことに加え、凝固過程において膨張するため、大型になると割れやすい物性が顕著に現れる。当社は、長年培ってきた高度な精密鋳造技術を駆使することにより、高純度化と内部応力の低減を実現する製造技術を確立し、実用性が格段に上がった大型柱状晶シリコンを安定的に製造することに成功した。
 大型柱状晶シリコンの製造技術の確立により、現在同製品が利用されている分野である半導体製造装置用部材(プラズマエッチング装置用部材、均熱板など)やスパッタリングターゲット材料などで、その利用拡大が見込まれる。近年では、半導体の微細配線化に伴って半導体装置内における不純物の低減要求が高まっており、柱状晶シリコンは同装置のウェーハ周辺の部材から、従来は他の素材を利用していた同装置の大型部材へも使用範囲が拡大している。
 また、フラットパネルディスプレイの分野においても基板の大型化が進んでおり、基板を熱処理する工程で使用される均熱板としての柱状晶シリコンについても大型化のニーズが高まっている。当社の大型柱状晶シリコンは、高純度でかつ加工性に優れていることから、そのほかさまざまな製品分野に利用が拡大していくものと期待される。

URL=http://www.mmc.co.jp/corporate/ja/news/press/2017/17-0125.html








 

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