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2017年1月23日

日立、ワイエイシイにイオンビーム応用装置事業を売却

 日立製作所とワイエイシイ(YAC)は2017年1月20日、日立が子会社である株式会社日立茨城テクニカルサービスで行っているイオンビーム応用装置製造事業を、2017年2月1日付けでYACに譲渡することで合意したことを発表した。なお、イオンビーム応用装置の販売とサービスについては、引き続き、株式会社日立ハイテクソリューションズなどが担当する。
 日立は、加速器や核融合のプラズマ加熱に必要な中性粒子入射装置の開発を手掛けており、この核融合技術の中から生まれた高精度の微細加工に適した日立独自のバケット型 イオン源技術を用いて、薄膜磁気ヘッドなどの微細加工を行うイオンビーム応用装置製造事業を展開している。主力製品であるイオンビームミリング装置は、微細加工を行うドライエッチング装置で、低エネルギーでも大電流のイオンビームが発生でき、かつイオンビームに均一性があり発散が少ないといった特徴を持っている。このため、金、白金、銅をはじめ金属や磁性体、酸化物など特殊材の微細加工などに適しており、MEMSやセンサ、パワーデバイス、高周波デバイス、光デバイスなどの製造にとって重要な装置となっている。
 今回は、日立は、イオンビーム応用装置製造事業の拡大と、コア技術を活用したさらなる事業の発展を目的に、本事業をYACに譲渡することとした。一方、YACは今回の事業譲渡によりイオンビームミリング装置の更なる進化と、自社のコア技術であるプラズマエッチング技術、レーザーエッチング技術とのシナジー効果を図り、さらなる事業発展を目指す。

URL=http://www.yac.co.jp/-/raw/70/
4186/29172/18/2016%E5%B9%B4%E5%BA%A6_%E3%81%9D%E3%81%AE%E4%BB%96/IR170120_hitachi%20ionbeam.pdf









 

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