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2016年11月7日

ギガフォトン、EUVパイロット光源で発光効率5%を樹立

 ギガフォトンは2016年10月21日、現在開発中のEUVスキャナ用レーザ生成プラズマ(LPP)光源の、最先端半導体量産ラインでの稼働を想定したパイロット光源が完成し、95%の高デューティー、平均出力100Wの安定運転で、世界最高水準である発光効率5%を実現したと発表した。
 これまでギガフォトンは、20μm以下の微小ドロップレットの供給技術、固体レーザによる改良型プリパルスと新たに導入した三菱電機製高周波放電励起式三軸直交型CO2レーザ増幅器による高光品位メインパルスビームの組み合わせ、エネルギー制御技術の改善、およびギガフォトン独自の技術である磁場を使ったデブリ除去技術を開発してきており、7月にはプロトタイプ機において130W以上の連続運転を達成したと発表した。
  今回のパイロット光源は、EUVスキャナに組み込むことを前提として設計されたシステムに、これらの新技術を組み込んだものであり、プロトタイプ光源よりも遥かに高いデューティー比(発光期間の運転時間に対する割合)95%で、出力105Wの安定運転、発光効率5%に成功した。これは半導体生産のスループットを決定する平均出力で100Wに相当し、ユーザーの現時点での要求を上回る性能といえるものとなっている。

URL=http://www.gigaphoton.com/ja/news/4778








 

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