.

半導体・FPD業界の出版社 デジタル家電 通信・ネットワーク 移動体通信/携帯電話 次世代FPD 投資/工場計画 アプリケーション FPD新製品 半導体新製品 製造装置・材料 FPD動向 半導体動向

2016年9月29日

AMAT、ディスプレイ業界向け電子ビームレビュー装置を発表

 米Applied Materials(AMAT)社は2016年9月21日、ディスプレイ業界初の高解像度インライン電子ビームレビュー(EBR)装置を発表した。同装置により、ディスプレイメーカーは有機EL(OLED)や超高精細(UHD)液晶画面の歩留りを迅速に最適化し、新しいコンセプトのディスプレイ製品を短期間で市場投入することが可能になる。AMATによるこのEBR装置は、世界のディスプレイメーカーのトップ10社中6社からすでに注文を受けている。
  同装置は半導体の歩留り改善技術とパネルレベルのSEM技術を融合した同社独自の技術により、当社は対象市場を広げるとともに、ユーザのコスト高につながる歩留り低下の回避に貢献している。
 現在ディスプレイ製造に用いられているインライン自動光学欠陥検査装置は、キラー欠陥の判別や、欠陥の根本原因を特定する能力がSEM分析に比べて劣っている。同社のEBR装置を導入するまで、ディスプレイのSEM分析を行うにはガラス基板を破砕し、断片を一つ一つ顕微鏡で観察するしかなかった。これに対して同社のEBR装置では、パネルを破砕せずに業界最高の解像度とスループットでインラインSEMレビューを行うため、制約を生まない構造となっている。

URL=http://phx.corporate-ir.net/phoenix.zhtml?c=112059&p=irol-newsArticle&ID=220498








 

EDリサーチ
お問い合わせ・ご質問は webmaster@edresearch.co.jp
(c) 2001 ED RESEARCH Co., Ltd. All rights reserved.

デジタル家電 通信・ネットワーク 移動体通信/携帯電話 次世代FPD 投資/工場計画 アプリケーション FPD新製品 半導体新製品 製造装置・材料 FPD動向 半導体動向