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2016年9月21日

SPTS TechnologiesとNovati、新プラズマダイシングを開発

 米Orbotech社の子会社であるSPTS Technologies社とナノテク開発企業である米Novati Technologies社は2016年9月7日、プラズマ・ダイシング・ソリューション開発で協力することを発表した。
 具体的にはSPTSのMOSAICプラズマ・ダイシング・ソリューション「Rapier-300S」をNovatiがテキサス州オースティンが立ち上げている最先端のプラズマ・ダイシング・ラインによるファンドリ施設に導入、ファンドリ・サービスへの応用を進める。新ソリューションには150/200/300mm対応の新しいウェーハハンドリング技術も含まれている。
 「Rapier-300S」は、実績のあるシリコン深堀り技術で開発を進め、より小さく、薄く、脆いダイに対応することができ、高い歩留りと生産性を実現している。

URL=http://www.spts.com/News/spts-technologies-collaborates-with-novati-technologies-to-establish-new-plasma-dicing-line.aspx








 

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