半導体・FPD業界の出版社

2004年4月23

TEL、液晶第6世代基板に対応するコータ/デベロッパを販売

 東京エレクトロンは、液晶ディスプレイの第6世代ガラス基板(1500mm×1800mm)に対応する、スピン・レス塗布ユニットを搭載したFPDコータ/デベロッパの販売を開始すると発表した。スピン・レス塗布ユニットは平田機工と協業契約を結び、製品化を進めてきた。スピン・レスに変更したのは省レジストと装置の安定性向上のためだという。なお、このスピン・レス塗布ユニットは東京エレクトロン九州が開発・製造する第6世代基板以降のコータ/デベロッパに搭載し、東京エレクトロンが販売していく。2004年8月から出荷を開始する予定。初年度30〜40台の販売を見込んでいる。

URL:http://www.tel.com/jpn/news/pr/2004/20040422.htm

半導体・FPD業界の出版社

EDリサーチ
お問い合わせ・ご質問は webmaster@edresearch.co.jp
(c) 2001 ED RESEARCH Co., Ltd. All rights reserved.
 EDリサーチ EDリサーチ イーディーリサーチ 半導体 FPD FPD プラズマ  デジタル家電 通信・ネットワーク 移動体通信/携帯電話 次世代FPD 投資/工場計画 アプリケーション FPD新製品 半導体新製品 製造装置・材料 FPD動向 半導体動向